威邦半導(dǎo)體推拉力測試機(jī)：又稱焊線強(qiáng)度測試儀、剪切力測試機(jī)、多功能推拉力測試機(jī)。是Bond工藝，SMT工藝，鍵合工藝，微電子制造重要的動(dòng)態(tài)力學(xué)檢測儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、光通訊器件封裝、LED封裝、器件產(chǎn)品或料件進(jìn)行失效分析和可靠性測試：
| 主要用途 | 貼片式料件焊點(diǎn)的可靠性 IC與PCB之間焊點(diǎn)的可靠性 BGA封裝料件焊點(diǎn)的可靠性 金線焊接點(diǎn)強(qiáng)度的可靠性 | 應(yīng)用場景 | 半導(dǎo)體制造：測試芯片和封裝的鍵合強(qiáng)度 電子制造：測試電路板和連接器的焊接強(qiáng)度 航空航天：測試航天器組件的連接強(qiáng)度 汽車制造：測試汽車零部件的焊接強(qiáng)度 | 測試內(nèi)容 | 引線/金線/銅線/合金線/鋁線/鋁帶等鍵合拉力測試； 金球/銅球/錫球/晶圓/芯片/貼片元件等推力測試 微焊點(diǎn)/植球/晶片/芯片與基板/BGA等剪切力測試 錫球/BGA/焊球/ Bump等拉拔力測試 SMT貼片元件/引腳疲勞等下壓力測試 |
» 可執(zhí)行所有拉力和剪切力（推力）應(yīng)用，
» 具備鍵合線強(qiáng)度拉力測試（WP）、焊點(diǎn)推力測試（BS）、焊接芯片剪切力測試（DS），下壓力測試（DP），拉拔力（TP）等，
» 多合一自動(dòng)旋轉(zhuǎn)更換模組，可單選和組合選擇1~6種模組如（推力、剪切力、拉力、拉拔力、下壓力）等模組，
» 每個(gè)傳感器采用獨(dú)立防碰撞超載保護(hù)系統(tǒng)，防止因操作失誤造成精度偏移。
» 量身定制各種精密夾具和測試工具（耗材）。
滿足標(biāo)準(zhǔn)：
| 芯片剪切力(DIE SHEAR) | MIL-STD-883 IPC-TM-650 |
| 球焊剪切力(BALL BOND SHEAR) | ASTM-F1269 MIL-STD-883 JEDEC JESD22-B116B |
| 金球剪切力(AU BALL SHEAR) | JEDEC JESD22-B116 JEDEC JESD22-B117B JEITA- ET-7409 |
| 引/焊線拉力(WIRE PULL) | DT/NDT MIL-STD-883 IPC-TM-650 |
| 平拔拉力(STUD PULL) | MIL-STD-883 |
| 倒裝芯片拉力(FLIP CHIP PULL) | JEDEC JESD22-B109 |
| 冷/熱拔球拉力(CBP/HBP) 冷/熱焊凸塊拉力 | JEITA- ET-7407 JEITA- ET-7409 JEDEC JESD22-B115A |
| BGA銅柱剪切力(BGA BUMP SHEAR) BGA凸點(diǎn)剪切 | JEDEC JESD22-B117A JEDEC JESD22-B117B JEITA- ET-7409 |
注：JEDEC 固態(tài)技術(shù)協(xié)會(huì) 微電子行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，ASTM 美國材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)，MIL STD 美用標(biāo)準(zhǔn) 883微電子器件試驗(yàn)方法和程序，IPC 國際電子電路互連與封裝協(xié)會(huì)。
| 測試量程 | |||||||||
| 推力測試ShearTest-Ball/Die金球/晶片 | 拉力測試Pull Test-Wire引線/焊線 | ||||||||
| Transducer | Auto Range（測試范圍） | Transducer | Auto Range（測試范圍） | ||||||
| □ BS250G | 250g | 100g | 50g | 25g | □ WP25G | 25g | 10g | 5g | 2.5g |
| □ BS1KG | 1kg | 500g | 250g | 100g | □ WP50G | 50g | 25g | 10g | 5g |
| □ BS5KG | 5kg | 2.5kg | 1kg | 500g | □ WP100G | 100g | 50g | 25g | 10g |
| □ BS20KG | 20kg | 10kg | 5kg | 2kg | □ WP200G | 200g | 100g | 50g | 25g |
| □ DS5KG | 5kg | 2.5kg | 1kg | 500g | □ WP500G | 500g | 250g | 100g | 50g |
| □ DS10KG | 10kg | 7.5kg | 5kg | 2.5kg | □ WP1KG | 1kg | 500g | 250g | 100g |
| □ DS50KG | 50kg | 40kg | 20kg | 10kg | □ WP5KG | 5kg | 2.5kg | 1kg | 500g |
| □ DS100KG | 100kg | 50kg | 20kg | 10kg | □ WP10KG | 10kg | 5kg | 2.5kg | 1kg |
| □ DS200KG | 200kg | 100kg | 50kg | 20kg | □ WP20KG | 20kg | 10kg | 5kg | 2kg |
| □ DS500KG | 500kg | 300kg | 250kg | 100kg | □ WP50KG | 50kg | 20kg | 10kg | 5kg |
| 拉拔力測試Pull Test Tweezers/ColdBump | 下壓力測試Push Test-Down/Pull | ||||||||
| Transducer | Auto Range（測試范圍） | Transducer | Auto Range（測試范圍） | ||||||
| □ TP100G | 100g | 50g | 25g | 10g | □ DP100G | 100g | 50g | 25g | 10g |
| □ TP1KG | 1kg | 500g | 250g | 100g | □ DP5KG | 5kg | 2.5kg | 1kg | 500g |
| □ TP5KG | 5kg | 2.5kg | 1kg | 500g | □ DP10KG | 10kg | 5kg | 2.5kg | 1kg |
| □ TP10KG | 10kg | 5kg | 2.5kg | 1kg | □ DP20KG | 20kg | 10kg | 5kg | 2kg |
| □ TP20KG | 20kg | 10kg | 5kg | 2kg | □ PP5KG | 5kg | 2.5kg | 1kg | 500g |
| □ CBP2.5KG | 2.5kg | 1kg | 500g | 250g | □ PP10KG | 10kg | 5kg | 2.5kg | 1kg |
| □ CBP5KG | 5kg | 2.5kg | 1.25kg | 500g | □ PP50KG | 50kg | 25kg | 10kg | 5kg |
| 型號 | WBE-9088B | ||||||||
| 模組數(shù)量 | 1~6個(gè)模組可選 | ||||||||
| XY軸行程 | 100mm*100mm（可特殊定制200mm*200mm），分辨率0.1um | ||||||||
| Z軸行程 | 75mm（可特殊定制150mm）,分辨率0.1um | ||||||||
| XY軸全程定位精度 | ±5um | ||||||||
| XY軸速度 | 7mm/s | ||||||||
| Y軸測試力 | 200kg（可選定500kg） | ||||||||
| Z軸測試精度 | ±2um，2mm以內(nèi)精度±1um | ||||||||
| Z軸速度 | 10mm/s | ||||||||
| Z軸測試力 | 20kg（可選定50kg） | ||||||||
| 傳感器精度 | 綜合測試精度±0.1% | ||||||||
| 傳感器更換方式 | 自動(dòng)旋轉(zhuǎn)模組（包含剪切力/推力、拉力、拉拔力、下壓力等） | ||||||||
| 平臺夾具 | 平臺可共享各種夾具，夾具可360°旋轉(zhuǎn) | ||||||||
| 顯微鏡 | 高清變倍1~60倍顯微鏡（可選配高清CCD相機(jī)） | ||||||||
| 機(jī)器校正 | 標(biāo)配對應(yīng)校正治具和砝碼一套 | ||||||||
| 真空供應(yīng) | 550mm Hg | ||||||||
| 壓縮空氣 | 4.5~6Bar | ||||||||
| 重量 | 95kg | ||||||||
| 電源功率 | 110V/220V±5%，50/60HZ，1KW/4.5A | ||||||||
| 外形尺寸 | 寬430mm * 深665mm * 高780mm | ||||||||
| 軟件系統(tǒng) | 機(jī)器自帶電腦，wndows11 操作系統(tǒng)，顯示屏，測試數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)保存與導(dǎo)出功能 | ||||||||
